เทปพลาสมาอินดิเคเตอร์คืออะไร?

เทปตัวบ่งชี้พลาสม่า เป็นวัสดุตรวจจับอัจฉริยะที่ใช้เป็นพิเศษสำหรับระบบสุญญากาศและกระบวนการพลาสมา โดยให้ผลตอบรับแบบเรียลไทม์เกี่ยวกับพารามิเตอร์หลักผ่านการเปลี่ยนแปลงทางกายภาพและทางเคมีแบบพิเศษ สามารถแสดงสถานะพลาสมาและรอยรั่วขนาดเล็กที่มองไม่เห็นด้วยตามนุษย์ได้โดยสังหรณ์ใจ

1. ข้อควรระวังในการใช้เทปตัวบ่งชี้พลาสม่า

(1). ปรับสภาพพื้นผิว

ก่อนติดต้องทำความสะอาดพื้นผิวที่จะทดสอบด้วยอะซิโตนหรือไอโซโพรพิลแอลกอฮอล์ หลังจากเช็ดแล้วให้ปล่อยทิ้งไว้ 2 นาทีเพื่อให้แน่ใจว่าตัวทำละลายระเหยหมด พลังงานพื้นผิวหลังการบำบัดควรอยู่ที่ ≥38dyn/cm ซึ่งสามารถตรวจสอบได้ด้วยการทดสอบปากกาดายน์ อย่าใช้นิ้วสัมผัสพื้นผิวกาวโดยตรงเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของน้ำมันที่อาจทำให้ความไวลดลง

(2). การดำเนินการวาง

หลังจากลอกเทปตัวบ่งชี้ออกจากฟิล์มป้องกันไฟฟ้าสถิตแล้ว ให้ค่อยๆ ม้วนไปตามปลายด้านหนึ่งแล้วใช้แรงกดสม่ำเสมอ 0.5-1 กก./ซม.² ใช้ที่ขูดซิลิโคนดันขอบเพื่อขจัดฟองอากาศ อนุญาตให้มีฟองอากาศขนาดเล็กที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง ≤1 มม. หลังจากวางแล้ว ให้พักไว้ 5 นาทีเพื่อให้ชั้นกาวได้ระดับเต็มที่ ห้ามลอกและวางซ้ำๆ โดยเด็ดขาด การติดซ้ำแต่ละครั้งจะทำให้กาวลดลงมากกว่า 50%

2. เกณฑ์ความล้มเหลวของเทปตัวบ่งชี้พลาสมา

(1) เกณฑ์ความล้มเหลวทางกายภาพ

ความเสียหายของพื้นผิว: มีรอยแตกที่มองเห็นได้ (ความยาว > 2 มม.) หรือการหลุดล่อน และพื้นผิวเกิดการบิดเบี้ยวอย่างถาวร (รัศมีการโค้งงอ > 15°)
ความล้มเหลวของกาว: พื้นที่ตกค้างของพื้นผิวกาว > 5% (ส่งผลต่อการยึดเกาะใหม่) ความแข็งแรงของการลอกลดลงเหลือน้อยกว่า 30% ของค่าเริ่มต้น (ต้องทดสอบด้วยเครื่องทดสอบแรงดึง)
การปนเปื้อนและการกัดกร่อน: สารปนเปื้อนที่เป็นอนุภาคที่ไม่สามารถกำจัดออกจะเกาะติดกับพื้นผิว (ขนาดอนุภาค > 50μm และความหนาแน่น > 3/ซม.²) และซับสเตรตถูกกัดเซาะโดยพลาสมาเพื่อสร้างรู (เส้นผ่านศูนย์กลาง > 1 มม.)

(2) เกณฑ์ความล้มเหลวของสารเคมี

ปฏิกิริยาการเปลี่ยนสีที่ผิดปกติ: ภายใต้สภาวะมาตรฐาน (เช่น อาร์กอนพลาสมา 50W) เวลาในการเปลี่ยนสีเกินค่าที่กำหนด ±30% และพื้นที่การเปลี่ยนสีแสดงการแพร่กระจายที่ไม่สม่ำเสมอ (ความแตกต่างของเส้นผ่านศูนย์กลางจุดสี > 20%)
ความล้มเหลวในการเคลือบ: พื้นที่ลอกของการเคลือบที่ละเอียดอ่อน > 10% (การสังเกตด้วยกล้องจุลทรรศน์) ค่า ΔE จะลดลง > 40% หลังจากการใช้งานซ้ำ (การตรวจจับสเปกโตรโฟโตมิเตอร์) ความเสียหายต่อความเสถียรทางเคมี: การแตกตัวของสารตั้งต้นเกิดขึ้นหลังจากการสัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน (เช่น Cl₂, F₂) และการสัมผัสกับความเข้มข้นของโอโซนสะสมมากกว่า 0.2ppm เป็นเวลานานกว่า 24 ชั่วโมง

ต้องเปลี่ยนเทปตัวบ่งชี้พลาสม่าหากเกิดสภาวะต่อไปนี้:
รอยแตกหรือการหลุดร่อนที่มีความยาวมากกว่า 2 มม. เกิดขึ้นบนพื้นผิว พื้นที่ผิวกาวที่เหลือมากกว่า 5% ส่งผลต่อการติดเทปใหม่ เวลาตอบสนองการเปลี่ยนสีเพิ่มขึ้นมากกว่า 50% เมื่อเทียบกับค่าเริ่มต้น เวลาเปิดรับแสงสะสมเกินอายุการใช้งานที่กำหนดของผู้ผลิต

3.เงื่อนไขการจัดเก็บสำหรับเทปตัวบ่งชี้พลาสม่า

(1) ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม

อุณหภูมิ: 15-25 ℃ (ความผันผวน <± 3 ℃ / ชม.)
กันแสง: ความเข้มของรังสียูวี <10μW/cm²
กันฝุ่น: ระดับความสะอาด 1000 หรือต่ำกว่า

(2) ข้อกำหนดบรรจุภัณฑ์

ถุงฟอยล์อลูมิเนียมแบบเดิมปิดผนึก (อัตราการส่งผ่านไอน้ำ <0.1g/m²/วัน)
เก็บนอกพื้นในตู้ป้องกันไฟฟ้าสถิต (ความต้านทานพื้นผิว 10³-10⁶Ω)